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設(shè)備：半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、探針臺B1505A、TS2000-HP
廠商：Keysight、MPI
用途：
技術(shù)指標(biāo)：
l 進(jìn)行寬范圍的電流/電壓測量：達(dá)1500A/10KV
l 精確的泄漏電流測量（亞pA能力）
l 精密的導(dǎo)通電阻表征（μΩ分辨率）
l 快至10μs的大功率脈沖測量
l 高壓偏置下的中電流測量能力：500mA@1200V
l 進(jìn)行高電壓偏置的CV測量
l 最大直流偏置±3000V
l 高功率圓片探測支持，在圓片上進(jìn)行＞200A和10KV的測試
l 真旋鈕掃描曲線追蹤儀功能
l 支持輸出波形監(jiān)視的示波器觀察（I/V）功能
l 可溯源至國際標(biāo)準(zhǔn)的大電流/電壓測量
l 可擴展的平臺和體系結(jié)構(gòu)，能隨需求變化添加測量能力
l 提供4種測試模式：曲線測試模式、應(yīng)用測試模式、傳統(tǒng)測試模式和快速測試模式。可為用戶不同的器件測試選擇，以最大程度地提高測量靈活性。
l 模塊化配置，有10個用于支持模塊的插槽
l 多頻電容測量單元（MFCMU），頻率范圍1KHZ至MHZ
l 適用于封裝測試和晶圓測試的標(biāo)準(zhǔn)附件：測試夾塊選擇器具，模和高壓偏置三通
地址：廣東省東莞市松山湖國家高新區(qū)總部一號12棟5樓
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